Endgültiger Vakuum-Test
Ziel:Um den niedrigsten Druck zu messen, den eine Vakuumpumpe nach längerer Betriebsdauer bei Leerlast (abgeschaltet vom Prozesssystem) erreichen kann.Dies ist ein wesentlicher Indikator für die Pumpenleistung.
Methode:Versiegeln Sie den Einlass der Pumpe, starten Sie die Pumpe und lassen Sie sie kontinuierlich laufen (z. B. 2 Stunden).
Typische Daten:Das ultimative Vakuum variiert signifikant zwischen verschiedenen Vakuumpumpenarten.während der ideale ultimative Vakuumbereich für Schraubvakuumpumpen typischerweise zwischen 1 × 10−2 Pa und 1 × 10−3 Pa liegt.
Prüfung der Pumpgeschwindigkeit
Ziel:Um das Gasvolumen zu messen, das bei einem spezifischen Druck pro Zeiteinheit in den Einlass der Pumpe gezogen wird, was die Betriebseffizienz der Pumpe widerspiegelt.
Methode:Anschließen einer Standardvakuumkammer mit bekanntem Volumen. Messen Sie die Zeit, die benötigt wird, um von dem atmosphärischen Druck auf einen bestimmten Zieldruck (z. B. 5 × 10 − 2 mbar) zu pumpen.und berechnen Sie dann die durchschnittliche Pumpgeschwindigkeit.
Typische Daten:Die Pumpgeschwindigkeit wird in der Regel in L/s oder m3/h ausgedrückt.Die Prüfungsanforderung kann festlegen, dass die Zeit, in der der Luftdruck auf den Zieldruck abgepumpt wird, 15 Minuten nicht überschreiten darf., mit einer Abweichung der Pumpgeschwindigkeit von ± 5%.
Leckrate-Prüfung
Ziel:Überprüfung der Dichtungsleistung des Pumpenkörpers und seiner Verbindungen, um sicherzustellen, dass keine offensichtlichen Lecks vorliegen, um die Stabilität des ultimativen Vakuums zu gewährleisten.
Methode:Normalerweise wird ein hochempfindlicher Heliummassenspektrometer-Leckdetektor verwendet, um die gesamte Pumpe zu untersuchen (z. B. Dichtungsbereiche wie Schachtende, Endkappen und Flansche).
Typische Daten:Bei Hochleistungsvakuumpumpen ist die Gesamtauflage für die Leckrate äußerst streng; sie muss beispielsweise unter 5×10−8 Pa·m3/s liegen.
Stabilitätsprüfung
Ziel:Bewertung der Fähigkeit der Vakuumpumpe, einen bestimmten Vakuumpegel während des Dauerbetriebs oder unter simulierten Arbeitsbedingungen zu halten.
Methode:Die Pumpe wird über einen längeren Zeitraum (z. B. 4 Stunden oder 168 Stunden) kontinuierlich unter einem bestimmten Druck betrieben und der Schwankungsbereich des Vakuumniveaus überwacht.
Typische Daten:Die Schwankungen des Vakuumniveaus müssen minimal sein, z. B. bei kontinuierlichem Betrieb bei einem Druck von 5×10−2 mbar für 4 Stunden sollten die Schwankungen des Vakuumniveaus ±1×10−3 mbar nicht übersteigen.